ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য লাইন লেজার উপাদান কি?

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে, অতি ক্ষুদ্র পৃষ্ঠের ত্রুটি এবং কণা একটি প্রধান সমস্যা, যা ফলন হ্রাস করতে পারে এবং উৎপাদনের সময় এবং খরচকে গ্রাস করতে পারে। অতএব, সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পৃষ্ঠের ত্রুটি এবং দূষণ সনাক্ত করা গুরুত্বপূর্ণ, সেমিকন্ডাক্টর মেট্রোলজি শিল্পে অনেক গ্রাহকের মুখোমুখি একটি চ্যালেঞ্জ। ওয়েফার পৃষ্ঠ পরিদর্শনের জন্য দ্রুত এবং সাশ্রয়ী পদ্ধতিগুলির মধ্যে একটি হল লেজার লাইন আলোকসজ্জা এবং অন্ধকার/উজ্জ্বল ক্ষেত্রের মাইক্রোস্কোপি ব্যবহার করা ত্রুটিগুলি সনাক্ত করতে, সাধারণত গভীর অতিবেগুনী (DUV) তরঙ্গদৈর্ঘ্যে 100nm এর নিচে। এই পদ্ধতিতে, হোলুর দেখায় যে যখন রেখাটি রেডিয়ালি স্ক্যান করা হয়, তখন ওয়েফারটি ঘোরে, ওয়েফারের একটি বড় স্যাম্পলিং এরিয়া তৈরি করে, যা স্ক্যান করার সময় কমাতে পারে। যেহেতু বেশিরভাগ অতিবেগুনী এবং গভীর অতিবেগুনী লেজারের একটি লাইন আউটপুট প্রোফাইল নেই, একটিলাইন লেজার উপাদানপ্রায়শই লেজারটিকে একটি লাইনের আকারে আকৃতি দিতে ব্যবহৃত হয়।

সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিদর্শনে লাইন লেজার অপটিক্যাল উপাদান ব্যবহারের জন্য প্রয়োজনীয়তা

গভীর অতিবেগুনী তরঙ্গদৈর্ঘ্যে লেজার লাইন ব্যবহার করে ওয়েফার ত্রুটি সনাক্তকরণের প্রয়োজনীয়তাগুলি অত্যন্ত কঠোর - প্রায়শই লেজার লাইন বজায় রাখার সময় সেগুলি অবশ্যই খুব দীর্ঘ লাইন (＞10mm) হতে হবে। 10um সংকীর্ণ প্রস্থ এবং চমৎকার অভিন্নতা। অন্ধকার ক্ষেত্রের অণুবীক্ষণ যন্ত্রের জন্য, লেজারের রেখাটিকে একটি চারণ কোণে ওয়েফারের উপর প্রক্ষিপ্ত করা প্রয়োজন যখন একটি খুব দীর্ঘ লাইনের দৈর্ঘ্যের উপর শক্তভাবে ফোকাস করা হয়। এই ধরনের রেখাগুলি সাধারণত একটি একক বিচ্ছুরিত অপটিক্যাল উপাদান দ্বারা অর্জন করা যায় না, যেমন একটি লিনিয়ার হোমোজেনাইজার, কারণ তারা একটি একক-মোড লেজারে দাগ তৈরি করে, যখন একটি মাল্টিমোড লেজার ফোকাসের যুক্তিসঙ্গত গভীরতায় একটি টাইট লাইনে ফোকাস করতে পারে না।

এই ধরনের পারফরম্যান্সের জন্য কাঙ্খিত প্রান্তের স্বচ্ছতা, অভিন্নতা, প্রস্থ এবং দৈর্ঘ্য সহ লেজার লাইন তৈরি করতে হলুরের উচ্চ-নির্ভুলতা বিম-শেপিং অপটিক্স প্রয়োজন। এই নির্ভুলতা প্রায়ই ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্স বা ফ্রি-ফর্ম অপটিক্স দ্বারা অর্জন করা যেতে পারে।

ওয়েফার ত্রুটি সনাক্তকরণের জন্য মরীচি আকৃতির পদ্ধতি

রৈখিক লেজার মডিউলগুলির জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তাগুলি নির্দেশ করে যে রশ্মি গঠনের চ্যালেঞ্জগুলির জন্য বেশ কয়েকটি সম্ভাব্য সমাধান রয়েছে, যার সবকটির জন্য মাল্টিকম্পোনেন্ট উপাদানগুলির সাথে ডিফ্র্যাকটিভ বা ফ্রি-ফর্ম প্রতিসরণ অপটিক্স সিস্টেম প্রয়োজন।

10-20মিমি পরিসরে লাইনের দৈর্ঘ্য সহ সাধারণ ক্ষেত্রে, একটি একক-মোড গভীর অতিবেগুনি লেজার সনাক্তকরণের জন্য যথেষ্ট শক্তি সরবরাহ করে। এই পরিস্থিতির জন্য একাধিক উপাদানের ফ্ল্যাট-টপ বিম শেপিং প্রয়োজন, যেখানে প্রথম উপাদানটি লাইন তৈরি করে এবং সিস্টেমের শেষ উপাদানটি একটি ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্যাল লেন্সের মতো, যা লাইনগুলিকে একত্রিত করতে এবং দ্রুত এবং ধীর অক্ষগুলিতে ফোকাস করতে ব্যবহৃত হয়। খুব দীর্ঘ লাইনের জন্য, এটি সাধারণত ＞50 মিমি, একক-মোড DUV লেজারগুলিতে খুব কমই উচ্চ লেজার শক্তি থাকে। অতএব, একটি মাল্টিমোড লেজার ব্যবহার করা আবশ্যক, সরু লাইনে ফোকাস করার জন্য একটি M2 রূপান্তর প্রয়োজন। ভাল অভিন্নতা তৈরি করতে লাইন হোমোজেনাইজারের সাথে লিনলাইনের মতো বিচ্ছুরণ সমাধানগুলিকে একত্রিত করে এটি অর্জন করা যেতে পারে। লেজার বিম স্প্লিটার ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্যাল উপাদান একই তীব্রতার সাথে ফোকাল লাইন তৈরি করতে ব্যবহার করা যেতে পারে। লাইনটি ওয়েফারের একটি রেডিয়াল পথ বরাবর স্ক্যান করতে ব্যবহৃত হয়, নিম্ন লেজার শক্তিতে উচ্চ-রেজোলিউশন ত্রুটি সনাক্তকরণ সক্ষম করে। এটি স্ক্যানিং গতি কমানোর খরচে আসে, যেহেতু যে কোনো সময়ে চিত্রিত এলাকা উল্লেখযোগ্যভাবে ছোট।

ইন-লাইন লেজার এলিমেন্টে কী শেপিং এলিমেন্ট হিসেবে ব্যবহার করার সুবিধাগুলো ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্স ওয়েফার মিটারিং-এর মতো চাহিদার অ্যাপ্লিকেশনের জন্য একটি লেজারকে লাইনে (বা লাইন) আকার দেওয়ার জন্য বেশ কিছু মূল সুবিধা দেয়:

1. ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্যাল উপাদানগুলির প্রায় সম্পূর্ণ কৌণিক নির্ভুলতা থাকে - এটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ যখন সুনির্দিষ্ট দূরত্ব পরিমাপ করা প্রয়োজন, যেমন নির্ভুল মেট্রোলজি অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে।

2. ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্যাল উপাদানগুলির একটি উচ্চ LDT (ক্ষতি থ্রেশহোল্ড) থাকে এবং Doe অপটিক্যাল উপাদানগুলি সাধারণত সমতল উপাদান হয়, তাই এগুলি সরাসরি বহু-উপাদান সিস্টেমে একত্রিত হতে পারে।

3.DOE অপটিক্যাল উপাদান একটি একক পৃষ্ঠে একাধিক ফাংশন একত্রিত করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, একটি লেজার লাইন স্প্লিটার একটি লাইন ডিফিউজারের সাথে একাধিক লাইন তৈরি করতে ব্যবহার করা যেতে পারে, মাল্টি-চ্যানেল ত্রুটি সনাক্তকরণ সক্ষম করে (একটি লিনিয়ার ডিটেক্টরে পিক্সেলগুলিকে গভীর অতিবেগুনী আলোকসজ্জা ছাড়াই "বিশ্রাম" করার অনুমতি দেয়)।

4. ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্যাল উপাদানের উপর ভিত্তি করে লেজার রশ্মি শেপিং অপটিক্সের খুব কম তাপ সংবেদনশীলতা রয়েছে, প্রায় কোনও তাপীয় লেন্স নেই, এমনকি সামান্য ডিফোকাসও কর্মক্ষমতাকে ক্ষতিগ্রস্ত করবে, তাই এটি বিশেষভাবে সরু লেজার লাইনের আকার দেওয়ার জন্য উপযুক্ত।

প্রশ্ন ও উত্তর:

1. কিভাবে লাইন লেজার উপাদান ওয়েফার ত্রুটি সনাক্তকরণের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে?

ওয়েফার পরিদর্শনে, গভীর অতিবেগুনি রশ্মি বা স্পট লাইনগুলি আলোকসজ্জার উত্স হিসাবে ব্যবহার করা হয় রেজোলিউশন অর্জনের জন্য। 100nm উচ্চ রেজোলিউশন উজ্জ্বল বা অন্ধকার ক্ষেত্রের মাইক্রোস্কোপি। লাইনটি একটি লাইন লেজার উপাদান বা একটি লেজার লাইন স্প্লিটার দ্বারা উত্পন্ন হয়।

2. ওয়েফার পরিদর্শনে লেজার লাইনের আকার দেওয়ার চ্যালেঞ্জগুলি কী কী?

মেট্রোলজিক্যাল অ্যাপ্লিকেশন যেমন ওয়েফার ত্রুটি সনাক্তকরণের জন্য দীর্ঘ অক্ষ (＞10 মিমি) খুব অভিন্ন শক্তি প্রয়োজন, যখন সাধারণত প্রয়োজন হয়। উচ্চ ত্রুটি সনাক্তকরণ রেজোলিউশন বজায় রাখার জন্য 10um সংকীর্ণ লাইন। তীক্ষ্ণ প্রান্তগুলিও প্রয়োজন, এবং অন্ধকার ক্ষেত্রের মাইক্রোস্কোপিতে, লাইনগুলিকে তাদের শক্ত ফোকাস বজায় রেখে একটি উচ্চ চারণ কোণে প্রজেক্ট করা প্রয়োজন।

3. ওয়েফার ত্রুটি সনাক্তকরণের জন্য কোন মরীচি আকৃতির পদ্ধতি ব্যবহার করা হয়?

একটি সাধারণ রৈখিক স্পট হল একটি মাল্টিকম্পোনেন্ট সিস্টেম যা পৃষ্ঠের উপর ফোকাস করে একটি সমতল-শীর্ষ, সংকীর্ণ সংকীর্ণ রেখা তৈরি করে। বিকল্পভাবে, একটি লেজার স্প্লিটার আলোর একটি রেখা তৈরি করতে পারে যা ওয়েফারটি ঘোরানোর সময় রেডিয়ালি স্ক্যান করা যেতে পারে। দীর্ঘ লাইনগুলির জন্য উচ্চতর লেজার শক্তি প্রয়োজন, যা শুধুমাত্র মাল্টি-মোড লেজারের মাধ্যমে অর্জন করা যেতে পারে। অতএব, একটি লেজার লাইন জেনারেটরের অপটিক্যাল উপাদানে সাধারণত একটি M2 রূপান্তর উপাদান থাকে যা লাইনটিকে একটি অক্ষের উপর শক্তভাবে ফোকাস করতে দেয় যখন এটিকে দ্বিতীয় অক্ষে আরও অভিন্ন করে তোলে, তারপরে একটি লাইন সমতলকরণ শীট এবং একটি ফোকাসিং অপটিক্যাল উপাদান থাকে।

4. রৈখিক লেজার মডিউলগুলিতে ডিফ্র্যাকটিভ অপটিক্যাল উপাদানগুলির সুবিধাগুলি কী কী?

ডিফ্র্যাকশন লাইন লেজার মডিউল প্রায় সম্পূর্ণ কৌণিক নির্ভুলতা প্রদান করে, মেট্রোলজি প্রক্রিয়াকে স্থিতিশীল করার জন্য প্রয়োজনীয় একটি মূল প্যারামিটার। তাদের সমতল, উচ্চ ক্ষতির থ্রেশহোল্ড এবং একটি একক পৃষ্ঠে একাধিক অপটিক্সকে একীভূত করার ক্ষমতা রয়েছে, যা উচ্চ-শক্তি DUV-এর সাথে পরিচালিত মাল্টিকম্পোনেন্ট সিস্টেমের জন্য আদর্শ করে তোলে।

যোগাযোগের তথ্য:

আপনার যদি কোন ধারনা থাকে, আমাদের সাথে কথা বলতে নির্দ্বিধায়। আমাদের গ্রাহকরা যেখানেই থাকুন না কেন এবং আমাদের প্রয়োজনীয়তাগুলি কী, আমরা আমাদের গ্রাহকদের উচ্চ গুণমান, কম দাম এবং সর্বোত্তম পরিষেবা প্রদানের জন্য আমাদের লক্ষ্য অনুসরণ করব।